Chinese 离轴照明 Cited by user 思考的苇丛 on 24 Jun 2026 离轴照明（off-axis illumination），亦称“倾斜曝光”或“非轴向曝光”，是半导体技术中光刻图案化过程里的一种先进曝光技术. 该技术能够在不改变数值孔径（如浸没光刻）或所用波长的情况下，提高特定结构的分辨率并增大焦深.
Chinese 浸没光刻 Cited by user 思考的苇丛 on 20 Jul 2025 浸没光刻是一种微电子生产工艺中的技术，用于在光刻结构化过程中获得更清晰的光学成像. 该技术利用与浸没显微镜相同的原理，但其目的不是观察物体，而是将光罩上已有结构以缩小比例投影到光刻胶层中，参见光刻.
German Schrägbeleuchtung Cited by user Cepheiden on 21 Nov 2022 Schrägbeleuchtung – seltener Schrägbelichtung oder außeraxiale Belichtung genannt – bezeichnet in der Halbleitertechnik ein fortgeschrittenes Belichtungsverfahren bei…