名城大など、高出力の深紫外LED/半導体レーザー向け基板剥離技術を開発
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名城大学と三重大学の両者は10月30日、同月17日に開発に成功したことを発表した、高光出力の深紫外LEDや深紫外半導体レーザーを実現するために不可欠である「縦型AlGaN系深紫外半導体レーザー」に関連して、半導体プロセスに導入しやすい加熱・加圧した水で基板剥…
名城大学と三重大学の両者は10月30日、同月17日に開発に成功したことを発表した、高光出力の深紫外LEDや深紫外半導体レーザーを実現するために不可欠である「縦型AlGaN系深紫外半導体レーザー」に関連して、半導体プロセスに導入しやすい加熱・加圧した水で基板剥…
2023年10月30日 発信地:東京/日本 名城大学理工学部材料機能工学科の岩谷素顕教授、竹内哲也教授、上山智教授、名城大学理工学部応用化学科の丸山隆浩教授、三重大学大学院工学研究科の三宅秀人教授の研究グループは、高光出力の深紫外LEDや深紫外半導体レーザー…
名城大学理工学部材料機能工学科の岩谷素顕教授、竹内哲也教授、上山智教授、名城大学理工学部応用化学科の丸山隆浩教授、三重大学大学院工学研究科の三宅秀人教授の研究グループは、高光出力の深紫外LEDや深紫外半導体レーザーを実現するために不可欠である縦型AlGaN系…
名城大学理工学部材料機能工学科の岩谷素顕教授、竹内哲也教授、上山智教授、名城大学理工学部応用化学科の丸山隆浩教授、三重大学大学院工学研究科の三宅秀人教授の研究グループは、高光出力の深紫外LEDや深紫外半導体レーザーを実現するために不可欠である縦型AlGaN系…